產品資料  Product material
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氣體質量流量控制器MFC3100A

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產品型號: MFC3100A
制造商: 韓國
產品展商: 韓國

如果您對該產品感興趣的話,可以

簡單介紹
氣體質量流量控制器MFC3100A,控制范圍:30slpm ~ 125slpm ,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,無需溫度壓力補償。氣體質量流量控制MFC3100A是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩流裝置,能在較寬的量程范圍內快速而**地控制氣體流量。即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。

氣體質量流量控制器MFC3100A

   的詳細介紹

 

氣體質量流量控制器MFC3100A產品亮點:

 

-    型:MFC氣體質量流量控制器

-控制范圍:30slpm 125slpm  (sccm:標準毫升/ slpm:標準升/) 

-準度等級: ±1% F.S

-    壓:≤70bar

-標準接口:0-5VDC4-20mA可選

-響應時間:≤2sec

-使用范圍:2~100% for max range

-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma

-    率:1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接:1/4”SWG1/8”SWG3/8”SWG1/4”VCR

-適用介質:所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)

-無需溫度、壓力補償

 

氣體質量流量控制器MFC3100A

 

產品型號
MFC3100V
MFC3100A
  流量范圍 (N2)
30slpm ~ 125slpm
 30slpm ~ 125slpm
  響應時間
 ≤2
  ≤2
  準確度
  ≤±1% 滿量程
  ≤±1% 滿量程
 重復精度
  ≤±0.25% 滿量程
 ≤±0.25% 滿量程
 輸出輸入信號
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供電
 +15~+28Vdc,350毫安
  +15~+28Vdc,350毫安
 耐壓
  ≤70 bar
 ≤70 bar
 工作環境溫度
  0~50 °C
  0~50 °C

應用領域:
-分析儀器     -干刻(RIE/DRIE     -燃料電池
-生物技術     -氣相色譜分析         -等離子刻蝕
-激光焊機     -混氣配氣系統         -微反應裝置
-真空鍍膜     -過程自動化           -石化工業

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